第80章 浸入式光刻机

　　就在华芯集团上下围绕着张树林这一典型进行着各种宣传活动，推动集团业务的拓展，各种计划的施行之时，孙毅也得到了来自李东来的答复，组织上已经同意了他的要求。
　　于是他立即用上华半导体的名义，拿出五亿人民币购入了华晶51%的股权，实现了对华晶的掌控。
　　拿到华晶控股权以后，孙毅并没有急着新官上任三把火，而是开始了对为华晶提供如光刻机、刻蚀机等相关生产设备单位的调研工作。
　　经过了三个多月的走访调研，孙毅对这些供应配套设备的单位，已经有了一个全面的了解。知道了他们的产品目前在国际上处于一个怎样的水准，自身又有着怎么的技术研发实力。
　　“下面我们还有哪几家需要调研？”在赶往下一家调研单位的路上，这些日子忙得有些晕头转向的孙毅，放下手中的调研资料，靠在商务车的柔软座椅的靠背上，揉了揉自己的太阳穴，问身边的助理小李道。
　　还没等小李开口，他对面跟随他一起参与调研工作的吴铭开口替小李回答道：“没了，刚刚调研的那家就是最后一家，明天我们就可以回华晶了。”
　　听到调研已经结束，一股淡淡的惆怅，夹着诸多的紧迫涌上他的心头。
　　回想起调研时看到的一幕幕，再对比国外的同行的产品，他感到国内在半导体制造设备上，是落后如此之多。
　　一想到这些，他就忍不住叹道：“没想到这么快就结束了，就是结果有些不容乐观。”
　　吴铭皱着眉头，接过话茬道：“是呀！其他的虽然问题也多，但终归还有赶上去的希望。
　　唯有光刻机，虽说中科院光电所已经研发分步光刻机，达到了国外80年代中期的水平。
　　可由于技术难度大，研发资金投入巨大，到目前为止相关研发工作进展缓慢，与国外先进水平之间的差距是越拉越大。”
　　说起光刻机，孙毅就是一阵无奈。
　　光刻机这一难题即便在重生之前的2019年，仍就在羁绊着中国半导体产业的发展。
　　它就像是木桶理论中那最短的一块短板，哪怕那时的中国在刻蚀机等其它半导体制造设备上水平非常高，也因为缺失了光刻机这一环，而导致中国的半导体产业始终落后两代，达不到国际先进水平。
　　现在哪怕是他知道了光刻机的重要性，对此仍旧感到有些束手无策。
　　光刻机的研发投入太大，风险又太高，仅凭华芯现在的实力，最多只能在后面推上一把，想要推动光刻机的研发，让它赶上国际先进水平，却是有些痴人说梦。
　　想到这些他就只能无奈地摇了摇头，对吴铭苦笑道：“这也是没有办法的事，我们的精密加工技术跟不上，再加上国家资金短缺，没有足够的资金投入到光刻机的研发中，尤其是光刻机的光源这一块。
　　导致我们一步慢，步步慢，差距是越拉越大。”
　　95年的中国虽然也有了自己的分步光刻机，可在光刻机的光源上用的还是365纳米（I线）近紫外光源，落后于国外的248纳米（KrF）深紫外光源整整一代。
　　这也导致国内的光刻机在精度上，整整落后国外好几个数量级。
　　吴铭听到孙毅这么说，却是心有不甘。
　　如今都已经知道问题出在哪里，却因为钱不够，无法将问题解决，这如何不让他感到丧气。
　　他皱起眉头，问孙毅道：“难道就没有别的办法吗？我们也可以自己出钱，支持光刻机的研发。”
　　显然吴铭并不希望这样被动地等待下去，他更希望能主动参与进去，提高中国的光刻机水平。
　　孙毅苦笑连连道：“我的好兄弟，你又不是不知道，华芯现在是小胳膊小腿，这种情况我们真的是无能为力。
　　光刻机研发是个烧钱大户，没有国家队进场，一般人还真就吃不住。
　　我们现在就是将所有的身家都投进去，也填不满光刻机研发这个无底洞。”
　　吴铭不甘道：“可也不能这样眼睁睁地看着，总要做点什么。”
　　孙毅听到吴铭这么一说，也觉得坐等下去也不是个事，哪怕是实力不够，怎么说也得博上一把。
　　若是不博，岂不是彻底没了希望。
　　这时他灵光一闪，想到如今的分步光刻机用的还是干式光刻机，而不是后世EUV问世之前流行的浸入式光刻机。
　　而干式光刻机与浸入式光刻机工作原理大致相似，两者不同的是干式光刻机的透镜和硅片之间的空隙填充的是空气，而浸入式光刻机的透镜和硅片之间的空气填充的是液体。
　　目前因为干式光刻机还没有到达它的上限，再加上国外目前虽然对浸入式光刻机技术有过研究，但目前使用的浸入液是环辛烷之类的液体。
　　导致人们因为对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题缺乏了解，国外的相关实验室因此并未对浸入式光刻展开深入的研究。
　　他完全可以趁机从这方面着手，在已有的干式光刻机的基础上探索浸入式光刻机技术，从而实现弯道超车。
　　于是他立马有了主意，对吴铭道：“是要做点什么，您老看这样如何？
　　虽然研发上我们没有那么多钱，但我们可以先找一些这方面的人才进行预研。
　　等过几年我们有了资本，能够支撑起光刻机的研发，我们再回头搞光刻机的研发工作，到时候预研正好能直接为我们节省下大量的时间。”
　　吴铭一听孙毅要预研，惊喜地问他道：“你准备与中科院光电所合作？”
　　孙毅却是摇了摇头道：“不，我们自己干。”
　　想到浸入式光刻机的未来的广阔前景，他决定先要把相关专利掌握在自己手中，再决定选择和谁合作。
　　哪怕到时候国内光刻机技术还是无法赶上，他也能凭借掌握的浸入式光刻机专利，在国际上纵横捭阖，得到他想要的光刻机设备。
　　吴铭不知道孙毅的私心，却在担忧其它方面。
　　他皱着眉头，忧心忡忡地问孙毅道：“你总不能到45所，中科院光电所去挖人吧！
　　咱们可不能因为挖人，把这两家给得罪了，日后我们在光刻机上还要指望他们帮忙的。”